真空系统中高真空抽气机组的操作

真空系统抽气机组高真空抽气机组在分子流状况下作业，与低真空机组比较，其特点是作业压力较低（１０－２～１０－６Ｐａ）、排气量小、抽速大。机组的主泵一般为分散泵、分散增压泵、分子泵、钛进步泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气作业，因而需求装备预抽泵和前级泵、有些分散泵高真空抽气机组还配有前级保持泵或贮气罐，以避免体系内的气压动摇，改进机组的抽气功用。１．２．３．１预抽泵预抽泵（粗抽泵）首要用来抽除真空室中的许多气体，使真空室内的气体压力由大气压力降到主泵能够发动作业时的真空度，因而，需求预抽泵所到达的压力要小于主泵的发动作业压力，机组所选用预抽泵的抽速巨细由粗抽时刻决议。为了进步真空机组的运用率，预抽泵能够兼做前级泵用，两种不一样抽气功用之间靠真空阀门来分隔和切换。１．２．３．２保持泵因为分散泵和油增压泵起动时刻长，在周期性操作的真空设备中，当真空室装料和卸料的时分，往往为了缩短作业周期而不中止主泵，将高真空阀门和前级管道阀门封闭，使主泵仍处于作业状况。因为阀门等总是有极少量的漏气以及阀门和泵内的外表放气，通过必定时刻后，主泵泵腔内的压力添加，超越泵作业液的最大答应压力而使泵油蒸气氧化。为了处理这个疑问，一个方法是用前级泵持续抽出主泵中的气体，但此刻主泵内排出的气体量很小，呈现前级泵大马拉小车表象，糟蹋动力。为此可选用另一个方法，中止前级泵作业，封闭前级管道阀门，在主泵出口处设置保持泵或储气罐，这样就能够确保即能排出主泵内的气体，又能够节约动力消耗。储气罐不能做得很大，它只能用在以分散泵为主泵的小型真空机组上。而保持泵可用在装备大型主泵的真空机组中。

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